蒸发镀膜是在真空条件下通过电阻或电子束加热镀膜材料,使其原子或分子从表面蒸出,沉积到基片表面从而形成薄膜的技术,该技术具有使用范围广、薄膜厚度高度可控、技术成熟、成本低廉等特点。目前,真空蒸镀技术已经广泛应用于OLED、有机光伏、光学膜、新型半导体、装饰镀膜等领域,为一种不可缺少的镀膜技术。