离子束辅助沉积是指在气相沉积镀膜的同时，采用低能离子束进行轰击，从而形成单质或化合物薄膜的技术，还可通过反射式高能电子衍射仪（RHEED）进行在线结构分析。该方法制备的薄膜具有高精度、高纯度、重复性和一致性好的优点，广泛应用于光学膜、传感器、光伏、半导体等领域。